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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 半导体薄膜测试XPS如何制样
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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rhflower

铜虫 (初入文坛)

[求助] 半导体薄膜测试XPS如何制样

我想把在FTO表面电沉积的半导体薄膜进行XPS检测，但是XPS样品尺寸需在10×10×1mm内。需要如何处理半导体/FTO样品？ 谢谢～～
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1楼 2012-04-04 22:08:24
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xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
qiqiqiqi: , 鼓励积极回贴交流哈 2012-04-05 09:14:02
进行适当的裁切不就可以了么~
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麦麦爸爸爱小牛
2楼2012-04-04 23:03:01
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圣代凉的

金虫 (著名写手)
10*10mm？这么大的样？  5*5就够吧， 你试试用玻璃刀在背面切
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实验需要重复多少遍？才可以
3楼2012-04-05 08:44:08
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qiqiqiqi

至尊木虫 (知名作家)

小木虫发型设计师

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我做的是5*5的 测试老师没经过我同意就给切了
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http://edu.emuch.net/attachment/b0/a6/664055_1294967861_445.gif
4楼2012-04-05 13:51:37
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0513flpb

至尊木虫 (职业作家)

劈脸一耳巴

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
剪一点点膜置于硅片上先扫苗下看看呗！不行再剪。。。
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一颗心老是牵挂结果，反而更难有收获！
5楼2012-04-05 18:11:32
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Fateam

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
玻璃刀上啊！或者直接重做。。没有更好的办法。。
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6楼2012-04-05 18:22:28
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rhflower

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by xiejf at 2012-04-04 23:03:01:
进行适当的裁切不就可以了么~

其实主要是厚度，我们的FTO有2.3mm厚，是不是有更薄的FTO啊？
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7楼2012-04-06 11:35:59
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floljf

金虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by rhflower at 2012-04-06 11:35:59:
其实主要是厚度，我们的FTO有2.3mm厚，是不是有更薄的FTO啊？

2.3mm是基片+FTO薄膜的厚度吧？
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8楼2012-04-07 16:25:21
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