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guochou银虫 (小有名气)
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[求助]
半导体仿真工具Silvaco TCAD软件 已有1人参与
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求助！ 哪位虫友高人知道利用半导体仿真工具Silvaco TCAD软件怎样编辑深反应离子刻蚀（DRIE）程序语句？本人想仿真MEMS工艺，具体的是想利用深反应离子刻蚀技术（DRIE）刻蚀高深宽比的深槽结构并进行电学特性和压力特性的仿真。有谁知道怎么编程序吗？或者用其他的什么软件进行我的这个工艺的仿真，谢谢啦！真诚的希望得到大家的帮助。谢谢！ |
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2楼2015-05-22 01:01:23
