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guochou

银虫 (小有名气)

[求助] 半导体仿真工具Silvaco TCAD软件已有1人参与

求助!
   哪位虫友高人知道利用半导体仿真工具Silvaco TCAD软件怎样编辑深反应离子刻蚀(DRIE)程序语句?本人想仿真MEMS工艺,具体的是想利用深反应离子刻蚀技术(DRIE)刻蚀高深宽比的深槽结构并进行电学特性和压力特性的仿真。有谁知道怎么编程序吗?或者用其他的什么软件进行我的这个工艺的仿真,谢谢啦!真诚的希望得到大家的帮助。谢谢!
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Tiesha

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

求Si基Ge沟道PMOSFET仿真程序,silvaco的,拜托各位了
2楼2015-05-22 01:01:23
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