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sunm1980木虫 (正式写手)
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[求助]
单晶硅的碱性化学腐蚀如何进一步提高
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| 急请教：对于单晶硅的碱性化学腐蚀，在使用胺碱加热搅动的条件下，如何进一步实现提高表面的化学反应速率？感觉有难度，主要是用于单晶硅的化学机械抛光方面，机台工艺参数及pad不变的前提下，slurry磨料就用固定粒径范围的硅溶胶不改变，或者能进一步增大单晶硅的胺化及硅酸盐的溶解度，求正解。 |
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