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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 单晶硅的碱性化学腐蚀如何进一步提高
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sunm1980

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[求助] 单晶硅的碱性化学腐蚀如何进一步提高

急请教：对于单晶硅的碱性化学腐蚀，在使用胺碱加热搅动的条件下，如何进一步实现提高表面的化学反应速率？感觉有难度，主要是用于单晶硅的化学机械抛光方面，机台工艺参数及pad不变的前提下，slurry磨料就用固定粒径范围的硅溶胶不改变，或者能进一步增大单晶硅的胺化及硅酸盐的溶解度，求正解。
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1楼 2012-03-26 16:31:14
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