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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 谁能讲讲x射线三轴衍射及reciprocal space mapping技术啊？
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付付得真

金虫 (正式写手)

[交流] 谁能讲讲x射线三轴衍射及reciprocal space mapping技术啊？ 已有8人参与

原理什么的不太懂。而且没能找到这方面的书。
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1楼 2012-03-26 15:35:18
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回帖置顶 ( 共有2个 )

付付得真

金虫 (正式写手)
付付得真: 回帖置顶 2012-03-31 15:38:34
找到一本书，《半导体检测与分析》，科学出版社的，有讲。
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6楼2012-03-31 15:38:28
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付付得真

金虫 (正式写手)
★
wbcui: 回帖置顶 2013-05-03 23:57:34
wbcui: 金币+1, 多谢帮助 2013-05-03 23:57:50
介绍RSM的资料已经找到了，需要的童鞋可以看看
http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=5788774
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10楼2013-04-19 19:35:37
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haixiaoxz

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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
悠然zx11: 金币+2, 多谢参与交流 ，欢迎常来^0^ 2012-03-29 08:43:25
你所谓的三轴衍射应该是指 四周衍射仪，这个在百度里可以查看。reciprocal space mapping 是倒易空间图，这个最近几年主要在外延单晶薄膜方面应用比较广泛，从图中可以获得很多普通XRD所得不到的信息，国内很少有文章使用这种图。需要高分辨率的XRD衍射仪测量，需要具体的软件把测量数据转换成RSM图。
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付付得真
2楼2012-03-27 21:18:15
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付付得真

金虫 (正式写手)
引用回帖:
11楼: Originally posted by snoxy at 2013-05-03 14:35:21
最近也测了一下，还不知道具体的原理。RSM的坐标一般是长度的倒数；但是也有以omega-2theta来标的。

原理我已经分享了，你可以再小木虫搜
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12楼2013-05-04 15:40:13
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付付得真

金虫 (正式写手)
送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by haixiaoxz at 2012-03-27 21:18:15:
你所谓的三轴衍射应该是指 四周衍射仪，这个在百度里可以查看。reciprocal space mapping 是倒易空间图，这个最近几年主要在外延单晶薄膜方面应用比较广泛，从图中可以获得很多普通XRD所得不到的信息，国内很少有 ...

我想用RSM看看在InP衬底上通过buffer长的InGaAs内的strain relaxation情况。
这种图可以测，但是之后的分析我就不太懂了，没怎么找到有关这方面的书籍。
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3楼2012-03-28 13:13:03
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BearA

铜虫 (小有名气)
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2楼: Originally posted by haixiaoxz at 2012-03-27 21:18:15
你所谓的三轴衍射应该是指 四周衍射仪，这个在百度里可以查看。reciprocal space mapping 是倒易空间图，这个最近几年主要在外延单晶薄膜方面应用比较广泛，从图中可以获得很多普通XRD所得不到的信息，国内很少有文 ...

您好，请问是什么软件转换呢？请问这个图不是直接用仪器测得的吗？横坐标纵坐标表示什么意思？整个图又怎么说明它的结构的？谢谢啊！！！！

RSM.jpg
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8楼2013-04-14 11:12:50
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haixiaoxz

新虫 (小有名气)
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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3楼: Originally posted by 付付得真 at 2012-03-28 13:13:03:
我想用RSM看看在InP衬底上通过buffer长的InGaAs内的strain relaxation情况。
这种图可以测，但是之后的分析我就不太懂了，没怎么找到有关这方面的书籍。

fully strained 情况下如果是单晶，在RSM图中，应该只会出现基底、缓冲层、InGaAs的地貌峰形。在应变松弛的情况下，一般外延的单晶的晶格尺寸或者晶型会发生变化，所以InGaAs的地貌峰形会分裂。
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付付得真
4楼2012-03-28 13:51:25
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付付得真

金虫 (正式写手)
送鲜花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by haixiaoxz at 2012-03-28 13:51:25:
fully strained 情况下如果是单晶，在RSM图中，应该只会出现基底、缓冲层、InGaAs的地貌峰形。在应变松弛的情况下，一般外延的单晶的晶格尺寸或者晶型会发生变化，所以InGaAs的地貌峰形会分裂。

请问，你能推荐一下有关RSM分析的书吗？
不胜感谢。
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5楼2012-03-28 15:50:08
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lmcr

铜虫 (小有名气)
关注中！
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7楼2012-11-28 01:04:45
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
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9楼2013-04-14 14:56:05
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