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yage16

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] PDMS固化揭膜问题

各位大侠，我想在硅片上制备15-20微米厚的PDMS，并把膜揭下来，有以下问题
1.旋涂时的速度，时间
2.硅片在旋涂之前需要怎样处理，才能把膜接下来啊
3.固化时间和温度多少啊
4.PDMS还需要稀释，吗，用什么稀释
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1楼 2012-03-19 20:24:51
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yage16

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by TTisaBee at 2012-12-03 21:06:57
LZ 最终是怎么解决的啊 同问

使用OTS修饰就可以把PDMS揭下来
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9楼2012-12-07 11:31:47
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javas2010

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
yage16: 金币+10, ★★★很有帮助 2012-03-20 09:45:23
不太建议用硅片做膜，即使做，上面也要用全氟硅烷做下表面改性。若想直接将薄膜揭下来，得有一定厚度。旋涂2000 rpm; 30s. 固化温度 80°，4h. PDMS交联前的单体 一般为小分子物质，若主体树脂为Si-OH封端，一个常见的curing agent的例子是硅酸四乙酯，作用为使主体树脂交联成膜，其用量影响成膜的力学性能和硬度，以及固化速度。
。
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含泪播种的人一定能含笑收获！
2楼2012-03-19 20:43:20
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yage16

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by javas2010 at 2012-03-19 20:43:20:
不太建议用硅片做膜，即使做，上面也要用全氟硅烷做下表面改性。若想直接将薄膜揭下来，得有一定厚度。旋涂2000 rpm; 30s. 固化温度 80°，4h. PDMS交联前的单体 一般为小分子物质，若主体树脂为Si-OH封端，一个常 ...

非常感谢啊，我还想问一下，
1.你说的全氟硅烷是十八烷基三氯硅烷（OTS）吗？要是用的它的话，是买固体的还是液体的啊。
2.那不用硅片，用别的什么啊，玻璃可以吗
3.我说的是已经以10:1混合好的PDMS和固化剂。想把它旋涂成200纳米左右，是不是需要稀释，稀释时一般用什么
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3楼2012-03-20 09:44:44
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chdozh

木虫 (小有名气)
比较难，PDMS对玻璃具有粘结作用。
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不知不觉转眼10年了！
4楼2012-03-20 18:25:27
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