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yage16

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] PDMS固化揭膜问题

各位大侠,我想在硅片上制备15-20微米厚的PDMS,并把膜揭下来,有以下问题
1.旋涂时的速度,时间
2.硅片在旋涂之前需要怎样处理,才能把膜接下来啊
3.固化时间和温度多少啊
4.PDMS还需要稀释,吗,用什么稀释
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yage16

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by TTisaBee at 2012-12-03 21:06:57
LZ 最终是怎么解决的啊 同问

使用OTS修饰就可以把PDMS揭下来
9楼2012-12-07 11:31:47
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查看全部 24 个回答

javas2010

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
yage16: 金币+10, ★★★很有帮助 2012-03-20 09:45:23
不太建议用硅片做膜,即使做,上面也要用全氟硅烷做下表面改性。若想直接将薄膜揭下来,得有一定厚度。旋涂2000 rpm; 30s. 固化温度 80°,4h. PDMS交联前的单体 一般为小分子物质,若主体树脂为Si-OH封端,一个常见的curing agent的例子是硅酸四乙酯,作用为使主体树脂交联成膜,其用量影响成膜的力学性能和硬度,以及固化速度。
含泪播种的人一定能含笑收获!
2楼2012-03-19 20:43:20
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yage16

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by javas2010 at 2012-03-19 20:43:20:
不太建议用硅片做膜,即使做,上面也要用全氟硅烷做下表面改性。若想直接将薄膜揭下来,得有一定厚度。旋涂2000 rpm; 30s. 固化温度 80°,4h. PDMS交联前的单体 一般为小分子物质,若主体树脂为Si-OH封端,一个常 ...

非常感谢啊,我还想问一下,
1.你说的全氟硅烷是十八烷基三氯硅烷(OTS)吗?要是用的它的话,是买固体的还是液体的啊。
2.那不用硅片,用别的什么啊,玻璃可以吗
3.我说的是已经以10:1混合好的PDMS和固化剂。想把它旋涂成200纳米左右,是不是需要稀释,稀释时一般用什么
3楼2012-03-20 09:44:44
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chdozh

木虫 (小有名气)

比较难,PDMS对玻璃具有粘结作用。
不知不觉转眼10年了!
4楼2012-03-20 18:25:27
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