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0610240

木虫 (正式写手)

[求助] 吸收谱可以测膜厚吗?

请问金膜在二氧化硅上,可以利用吸收谱测膜厚吗?怎么测?怎么算?
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因为没有路,所以我选择飞翔
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lzsgodmax

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
wbcui: 金币+2, TEM不是哪里都有啊,呵呵 2012-03-19 14:32:47
用tem测不好么?当然用原子吸收测膜厚也有的
2楼2012-03-19 10:49:02
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0610240

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by lzsgodmax at 2012-03-19 10:49:02:
用tem测不好么?当然用原子吸收测膜厚也有的

可以吗?金膜 几十纳米量级的
因为没有路,所以我选择飞翔
3楼2012-03-19 14:59:45
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lzsgodmax

金虫 (著名写手)

不清楚呢,一般测膜厚都用TEM的吧
4楼2012-03-19 15:29:48
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葵花点穴手h

银虫 (小有名气)


悠然zx11: 金币+1, 多谢积极参与交流,欢迎常来~ 2012-03-23 15:16:10
断面TEM测比较清楚吧,我做的一般微米级,最准,最直观的是断面SEM,不过要求基体表面平整
做学术是一件严谨的事
5楼2012-03-21 10:02:08
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0610240

木虫 (正式写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 葵花点穴手h at 2012-03-21 10:02:08:
断面TEM测比较清楚吧,我做的一般微米级,最准,最直观的是断面SEM,不过要求基体表面平整

基体表面平整有标准吗?
因为没有路,所以我选择飞翔
6楼2012-03-23 11:18:46
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葵花点穴手h

银虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 0610240 at 2012-03-23 11:18:46:
基体表面平整有标准吗?

最好是基体在涂覆之前有过表面处理,比如研磨抛光,这样的话界面比较平整,如果表面粗糙度很大的话,你的薄膜这么薄,效果估计不好
做学术是一件严谨的事
7楼2012-03-23 11:43:41
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葵花点穴手h

银虫 (小有名气)

还有就是做SEM断面需要抛光,不知道TEM需不需要
做学术是一件严谨的事
8楼2012-03-23 11:45:04
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