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多晶硅靶材
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卩丶天明灬
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多晶硅靶材
多晶硅靶材一般用来给基底做磁控溅射。我想问一下基底一般用什么材料,在基底上镀了一层多晶硅以后,有什么新的功能!
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1楼
2012-03-05 20:46:49
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3楼
:
Originally posted by
卩丶天明灬
at 2012-03-08 13:38:11:
请问玻璃基板的材质一般是什么!
“玻璃基板”的材质当然就是玻璃啦。最常见的光学玻璃材料是K9玻璃,K9的组成:SiO2=69.13% B2O3=10.75% BaO=3.07% Na2O=10.40% K2O=6.29% As2O3=0.36% ,折射率=1.51630。透明度较好,价格比较便宜,直径一英寸2mm厚的双面抛光K9玻璃基片30元左右。
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4楼
2012-03-08 15:04:38
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卩丶天明灬(金币+20):
★
有帮助 不是很详细 能不能更详细一点 2012-03-08 13:39:06
基底可以为石英或玻璃基片。镀硅石英片可以加工成光刻掩模。
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2楼
2012-03-08 10:22:08
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楼
:
Originally posted by
foxs2
at 2012-03-08 10:22:08:
基底可以为石英或玻璃基片。镀硅石英片可以加工成光刻掩模。
请问玻璃基板的材质一般是什么!
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3楼
2012-03-08 13:38:11
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【答案】应助回帖
在导电玻璃(在普通玻璃上溅射一层氧化铟锡就是导电玻璃)上依次镀N型、本征型、P型硅,可以做非晶硅太阳能电池。
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5楼
2012-03-08 15:10:35
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