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卩丶天明灬

至尊木虫 (著名写手)

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[求助] 多晶硅靶材

多晶硅靶材一般用来给基底做磁控溅射。我想问一下基底一般用什么材料，在基底上镀了一层多晶硅以后，有什么新的功能！

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1楼 2012-03-05 20:46:49

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

foxs2

木虫 (文坛精英)

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引用回帖:

3楼: Originally posted by 卩丶天明灬 at 2012-03-08 13:38:11:
请问玻璃基板的材质一般是什么！

“玻璃基板”的材质当然就是玻璃啦。最常见的光学玻璃材料是K9玻璃，K9的组成：SiO2=69.13% B2O3=10.75% BaO=3.07% Na2O=10.40% K2O=6.29% As2O3=0.36% ，折射率=1.51630。透明度较好，价格比较便宜，直径一英寸2mm厚的双面抛光K9玻璃基片30元左右。