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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 综合其它 » 多晶硅靶材
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卩丶天明灬

至尊木虫 (著名写手)

[求助] 多晶硅靶材

多晶硅靶材一般用来给基底做磁控溅射。我想问一下基底一般用什么材料，在基底上镀了一层多晶硅以后，有什么新的功能！
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1楼 2012-03-05 20:46:49
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foxs2

木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
卩丶天明灬(金币+20): ★有帮助 不是很详细 能不能更详细一点 2012-03-08 13:39:06
基底可以为石英或玻璃基片。镀硅石英片可以加工成光刻掩模。
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2楼2012-03-08 10:22:08
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卩丶天明灬

至尊木虫 (著名写手)
引用回帖:
楼: Originally posted by foxs2 at 2012-03-08 10:22:08:
基底可以为石英或玻璃基片。镀硅石英片可以加工成光刻掩模。

请问玻璃基板的材质一般是什么！
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3楼2012-03-08 13:38:11
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foxs2

木虫 (文坛精英)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 卩丶天明灬 at 2012-03-08 13:38:11:
请问玻璃基板的材质一般是什么！

“玻璃基板”的材质当然就是玻璃啦。最常见的光学玻璃材料是K9玻璃，K9的组成：SiO2=69.13% B2O3=10.75% BaO=3.07% Na2O=10.40% K2O=6.29% As2O3=0.36% ，折射率=1.51630。透明度较好，价格比较便宜，直径一英寸2mm厚的双面抛光K9玻璃基片30元左右。
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4楼2012-03-08 15:04:38
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foxs2

木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

在导电玻璃（在普通玻璃上溅射一层氧化铟锡就是导电玻璃）上依次镀N型、本征型、P型硅，可以做非晶硅太阳能电池。
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5楼2012-03-08 15:10:35
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