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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 溶胶凝胶法制备薄膜的电学性质测量
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越1121越

新虫 (初入文坛)

[求助] 溶胶凝胶法制备薄膜的电学性质测量

我们用溶胶凝胶法制备薄膜，想要测量其电学性质，底电极已经溅射了pt薄膜，但是由于是甩膜，所以不知道怎么才能将底电极露出，请问大家有没有什么好的方法可以将其露出。
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1楼2012-03-05 10:52:49
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chenbo2011

木虫 (小有名气)
用强酸把薄膜的一角腐蚀掉，露出下面的铂。
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5楼2013-01-02 21:48:14
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mse507

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
aishan(金币+1): 鼓励交流 2012-03-05 13:32:09
有划硅片的金刚刀吗? 用它在边角处轻轻划几下就能露出下电极。没有金刚刀，玻璃刀也行。金币你自己留着吧。
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2楼2012-03-05 13:07:00
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nlw175

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
aishan(金币+1): 鼓励交流 2012-03-06 11:01:27
标准做法貌似用光刻，腐蚀，可以做出你需要的各种形状的电极。
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3楼2012-03-05 22:23:12
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plankton1988

新虫 (初入文坛)
用脱脂棉轻轻擦掉  如果贴胶带会使膜不均匀

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2013-01-02 12:05:29
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