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如何去除薄膜状态的铜?
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fengye0909
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MM
专业: 半导体晶体与薄膜材料
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如何去除薄膜状态的铜?
想请教一下如何去除薄膜状态的铜,大概100-200nm? 去除的同时不能去除Cr,不能用强酸与强碱,谢谢!
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不一样的城市,不一样的天空,不一样的清晨,一样的you are so beautiful!
1楼
2012-02-29 19:25:32
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wydmhy
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专业: 无机非金属类光电信息与功
【答案】应助回帖
★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
zhyq8767(金币+1): 感谢应助,鼓励积极参与本版的应助达人评比活动! 2012-03-06 10:14:46
fengye0909: 金币+2
2012-03-20 09:41:20
面积不是太大,好操作的话,抛光去除。
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2楼
2012-03-06 10:10:09
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