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附件 1 : 真空泵.jpg

2012-03-04 12:36:12, 1.78 M

11楼2012-03-04 12:36:47

孙?�730

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【答案】应助回帖

★
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taofei(金币+1): 2012-03-05 09:06:20

个人认为两泵应并联
各自有阀门(气路开关)
具体的
机械泵可能会提供一个作为公共腔的一段管子
如果有接口分子泵可直接接上
如果没有就应该是三通连接
"公共腔"或"三通" 就是等效节点

sunyu730_emuch@126.com

12楼2012-03-04 13:11:33

ssawee

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引用回帖:

9楼: Originally posted by xidianzhu at 2012-03-03 17:39:47:
上面的回复好像都太绝对了。
我知道一种连法，就是机械泵和分子泵都连在chamber上面，先开机械泵，等平衡后开启分子泵。
呵呵，从原理上想想，这样也可以。只要保证分子泵开启的时候，周围环境满足分子泵工作的 ...

不能
因为分子泵的出气口要接到机械泵上，不能只顾分子泵前级的压力

13楼2012-03-08 22:04:11

xidianzhu

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引用回帖:

13楼: Originally posted by ssawee at 2012-03-08 22:04:11:
不能
因为分子泵的出气口要接到机械泵上，不能只顾分子泵前级的压力

实验室有过分子泵，但不是我主管。但是我记得是并联的。
具体怎么连我还真忘了。

喜欢激光的朋友可以交流

14楼2012-03-08 22:24:52

ssawee

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14楼: Originally posted by xidianzhu at 2012-03-08 22:24:52:
实验室有过分子泵，但不是我主管。但是我记得是并联的。
具体怎么连我还真忘了。

如果是并联也该是11楼说的那种用三通阀门转换的

15楼2012-03-09 00:03:18

季岩冰

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
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taofei: 金币+4, 谢谢！ 2012-03-23 10:53:37

连接的时候，前级阀和分子泵串联，然后再与旁路阀并联，并联气路的一端接向真空室，并联气路的另一端再与机械泵串联，机械泵的另一端与大气相通。
工作的时候，先开旁路阀和机械泵，一般抽到10Pa以下，关闭旁路阀，打开闸板阀，前级阀和分子泵，先抽本底真空，然后通气调到工作真空。
关闭的时候，先关气，再关分子泵，等到分子泵停了之后，关闸板阀，前级阀，旁路阀，机械泵。
不工作的时候，尽量让真空室保持真空状态。
另外还有一点就是放空的时候注意要完成上面的关闭过程再放空，不然会对泵有损伤。
希望对你有所帮助。

16楼2012-03-10 11:55:59