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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 分子泵和机械泵如何连接
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opanane

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
10楼: Originally posted by opanane at 2012-03-04 12:25:39:
如果机械泵能抽到分子泵所需的真空度的话需要两个真空室。一个是你要抽的，另外一个是前置真空室。给你个大概的连法。(以前学过一点，非专业人士)

额，没传上去图片，我补下。原图用的是扩散泵，连接的原理类似。
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  • 附件 1 : 真空泵.jpg
    • 2012-03-04 12:36:12, 1.78 M
11楼2012-03-04 12:36:47
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孙?�730

至尊木虫 (知名作家)

优秀版主

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
taofei(金币+1): 2012-03-05 09:06:20
个人认为 两泵应并联
各自有阀门(气路开关)
具体的
机械泵 可能会提供一个作为公共腔的一段管子
如果有接口 分子泵可直接接上
如果没有 就应该是三通连接
"公共腔"或"三通" 就是等效节点
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sunyu730_emuch@126.com
12楼2012-03-04 13:11:33
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ssawee

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
9楼: Originally posted by xidianzhu at 2012-03-03 17:39:47:
上面的回复好像都太绝对了。
我知道一种连法，就是机械泵和分子泵都连在chamber上面，先开机械泵，等平衡后开启分子泵。
呵呵，从原理上想想，这样也可以。只要保证分子泵开启的时候，周围环境满足分子泵工作的 ...

不能
因为分子泵的出气口要接到机械泵上，不能只顾分子泵前级的压力
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13楼2012-03-08 22:04:11
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xidianzhu

木虫 (著名写手)
引用回帖:
13楼: Originally posted by ssawee at 2012-03-08 22:04:11:
不能
因为分子泵的出气口要接到机械泵上，不能只顾分子泵前级的压力

实验室有过分子泵，但不是我主管。但是我记得是并联的。
具体怎么连我还真忘了。
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喜欢激光的朋友可以交流
14楼2012-03-08 22:24:52
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ssawee

新虫 (小有名气)
引用回帖:
14楼: Originally posted by xidianzhu at 2012-03-08 22:24:52:
实验室有过分子泵，但不是我主管。但是我记得是并联的。
具体怎么连我还真忘了。

如果是并联也该是11楼说的那种用三通阀门转换的
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15楼2012-03-09 00:03:18
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季岩冰

至尊木虫 (正式写手)

小沙弥

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
taofei: 金币+4, 谢谢！ 2012-03-23 10:53:37
连接的时候，前级阀和分子泵串联，然后再与旁路阀并联，并联气路的一端接向真空室，并联气路的另一端再与机械泵串联，机械泵的另一端与大气相通。
工作的时候，先开旁路阀和机械泵，一般抽到10Pa以下，关闭旁路阀，打开闸板阀，前级阀和分子泵，先抽本底真空，然后通气调到工作真空。
关闭的时候，先关气，再关分子泵，等到分子泵停了之后，关闸板阀，前级阀，旁路阀，机械泵。
不工作的时候，尽量让真空室保持真空状态。
另外还有一点就是放空的时候注意要完成上面的关闭过程再放空，不然会对泵有损伤。
希望对你有所帮助。
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16楼2012-03-10 11:55:59
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wangzhenwei

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
都连在腔室上，先开机械泵，抽到分子泵工作的压力范围就开分子泵，机械泵也不要关就好了。
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17楼2012-03-22 09:14:20
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lxlzu

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
机械泵连接分子泵，分子泵连接chamber。
机械泵先抽真空到一定真空度后再开分子泵的抽高真空。
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18楼2012-03-23 09:29:47
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登弗真空

新虫 (初入文坛)
分子泵连接 chamber, 分子泵排气口连接机械泵（前级泵）， 分子泵进、出气口保持合理的压力差，出气口小于5mbar基本都可以，前级泵可以选择：干式隔膜真空泵、干式变频涡卷式真空泵、干式螺旋真空泵、干式螺杆真空泵、旋片真空泵（油泵）等。具体看使用环境的要求，最好不喷油！
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19楼2021-11-05 13:18:05
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