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taofei

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[求助] 分子泵和机械泵如何连接

是分子泵和机械泵分别连在chamber上，还是机械泵连在chamber上，分子泵再连在机械泵上？
谢谢！

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1楼2012-02-29 17:41:10

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季岩冰

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
taofei: 金币+4, 谢谢！ 2012-03-23 10:53:37

连接的时候，前级阀和分子泵串联，然后再与旁路阀并联，并联气路的一端接向真空室，并联气路的另一端再与机械泵串联，机械泵的另一端与大气相通。
工作的时候，先开旁路阀和机械泵，一般抽到10Pa以下，关闭旁路阀，打开闸板阀，前级阀和分子泵，先抽本底真空，然后通气调到工作真空。
关闭的时候，先关气，再关分子泵，等到分子泵停了之后，关闸板阀，前级阀，旁路阀，机械泵。
不工作的时候，尽量让真空室保持真空状态。
另外还有一点就是放空的时候注意要完成上面的关闭过程再放空，不然会对泵有损伤。
希望对你有所帮助。