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铜膜高温热处理的SEM图
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【求助】用磁控溅射长的铜膜，1000度在氢气中保温30分钟快冷的扫描图，本来是260nm，处理完变厚了，大概有四五百nm，表面不平整了，哪位高人能指教一下 高温处理后有些空洞  一颗颗粒状结构  厚度比加热前厚了 |
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