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梳齿电容式微加速度计的伺服电路
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小弟最近才开始学MEMS加速度计这方面的东西。对于梳齿电容加速度计的工作原理感觉还很好理解，但是对于里面的伺服电子线路有些难理解，它主要由位移检测电路、交流放大和同步解调电路、积分校正环节、静电力矩器四部分组成。哪位大哥能不能具体介绍下每部分在测量加速度的过程中的作用？还有就是最后经过反馈单元会给敏感质量块加一个反馈电压，对于这一点也不是太明白，希望能帮帮小弟！！！感激不尽 |
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