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薄膜厚度
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gcdxxiaona
银虫
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薄膜厚度
如何通过测试的干涉峰多少,来确定薄膜的大致厚度
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2012-02-14 10:41:48
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ben1986
铜虫
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虫号: 679409
★
gcdxxiaona(金币
+1
):谢谢参与
你所说的干涉峰是指薄膜透射光谱的干涉峰吧
粗略推算可以用公式:d=λ1*λ2/(2*n*(λ1-λ2))
n为薄膜折射率,λ1,λ2为任意两个相邻波峰或波谷的波长
准确计算有更复杂的公式,需要编程拟合实验曲线,参考沈学础的《半导体光谱和光学性质》或方容川《固体光谱学》
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8楼
2012-02-16 17:02:07
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九品墨徒
银虫
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★
gcdxxiaona(金币
+1
):谢谢参与
按照你说的方法,需要用干涉显微镜,调节焦距到看见干涉条纹,然后移动光束照到薄膜和基底的“台阶”上,然后干涉光就会出现偏移*d。量得干涉条纹的宽度d,薄膜厚度就是D=(*d/d)*波长/2.
干涉条纹偏移距离*d可以根据白光干涉的彩色条纹判断偏移方向,然后用单色光干涉条纹测量具体的偏移距离。干涉条纹的宽度d也指的是单色光的干涉条纹宽度。
"台阶"的获得需要在镀膜前在基底上用油性笔画一条边缘平滑的直线,镀膜之后可以用脱脂棉蘸酒精擦掉,于是台阶就出现了。
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2楼
2012-02-14 14:40:01
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九品墨徒
银虫
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虫号: 979021
波长指的是你采用的单色光的波长,若是绿光,则差不多530nm
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3楼
2012-02-14 14:41:01
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gcdxxiaona
银虫
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不好意思没说清楚,应该是如何通过透过率曲线上的干涉峰计算或判断膜厚
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4楼
2012-02-14 15:47:59
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