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gcdxxiaona

银虫 (小有名气)

[交流] 薄膜厚度

如何通过测试的干涉峰多少，来确定薄膜的大致厚度
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1楼2012-02-14 10:41:48
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九品墨徒

银虫 (正式写手)
★
gcdxxiaona(金币+1):谢谢参与
按照你说的方法，需要用干涉显微镜，调节焦距到看见干涉条纹，然后移动光束照到薄膜和基底的“台阶”上，然后干涉光就会出现偏移*d。量得干涉条纹的宽度d,薄膜厚度就是D=(*d/d)*波长/2.
干涉条纹偏移距离*d可以根据白光干涉的彩色条纹判断偏移方向，然后用单色光干涉条纹测量具体的偏移距离。干涉条纹的宽度d也指的是单色光的干涉条纹宽度。
"台阶"的获得需要在镀膜前在基底上用油性笔画一条边缘平滑的直线，镀膜之后可以用脱脂棉蘸酒精擦掉，于是台阶就出现了。
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2楼2012-02-14 14:40:01
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九品墨徒

银虫 (正式写手)
波长指的是你采用的单色光的波长，若是绿光，则差不多530nm
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3楼2012-02-14 14:41:01
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gcdxxiaona

银虫 (小有名气)
不好意思没说清楚，应该是如何通过透过率曲线上的干涉峰计算或判断膜厚
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4楼2012-02-14 15:47:59
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孙?�730

至尊木虫 (知名作家)
★
gcdxxiaona(金币+1):谢谢参与
引用回帖:
4楼: Originally posted by gcdxxiaona at 2012-02-14 15:47:59:
不好意思没说清楚，应该是如何通过透过率曲线上的干涉峰计算或判断膜厚

'透过率曲线上的干涉峰'?
能否提供具体的结果.
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5楼2012-02-14 17:02:31
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gcdxxiaona

银虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 孙?�730 at 2012-02-14 17:02:31:
'透过率曲线上的干涉峰'?
能否提供具体的结果.

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    • 2012-02-14 17:38:28, 22.5 K
6楼2012-02-14 17:38:47
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孙?�730

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
6楼: Originally posted by gcdxxiaona at 2012-02-14 17:38:47:
在附件里

列方程组吧
增强    n1*λ1=n2*λ2=n3*λ3=n4*λ4=~~~(n为整数)
减弱   (m1+1/2)*λ1=(m2+1/2)*λ2=(m3+1/2)*λ3=(m4+1/2)*λ4=~~~(m为整数)
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7楼2012-02-14 18:30:44
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ben1986

铜虫 (小有名气)
★
gcdxxiaona(金币+1):谢谢参与
你所说的干涉峰是指薄膜透射光谱的干涉峰吧
粗略推算可以用公式：d=λ1*λ2/（2*n*(λ1-λ2)）
n为薄膜折射率，λ1，λ2为任意两个相邻波峰或波谷的波长
准确计算有更复杂的公式，需要编程拟合实验曲线，参考沈学础的《半导体光谱和光学性质》或方容川《固体光谱学》
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8楼2012-02-16 17:02:07
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