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CVD法沉积BN所用质量流量计
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| 我所用的气源为BCl3和氨气，请问该用什么样的质量流量计比较合适，我想买个好一点的质量流量计，能够对气源的流量进行精确控制，好像有那种电脑控制的流量计，不知有谁用过？ |
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上海工程技术大学激光智能制造课题组招收博士研究生
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2楼2012-02-04 09:00:14
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