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CVD法沉积BN所用质量流量计
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| 我所用的气源为BCl3和氨气,请问该用什么样的质量流量计比较合适,我想买个好一点的质量流量计,能够对气源的流量进行精确控制,好像有那种电脑控制的流量计,不知有谁用过? |
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2楼2012-02-04 09:00:14













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