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微纳加工中常见材料的腐蚀/刻蚀速率
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| 两篇paper讲微纳加工/微纳器件领域（或者说MEMS）中常见材料/工艺的腐蚀速率，包括光刻胶，金属，硅材料等。就当个手册用吧。要是和其他资源重复了，恳请版主删除。 |
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本内容由用户自主发布，如果其内容涉及到知识产权问题，其责任在于用户本人，如对版权有异议，请联系邮箱：xiaomuchong@tal.com - 附件 1 : ETCH RATE 1--JMEMS.pdf
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2012-01-31 01:11:36, 1.71 M
2012-01-31 01:11:47, 1.03 M
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60楼2012-05-07 09:06:14
9楼2012-01-31 22:21:01
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gxw02182楼
2012-01-31 09:32
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gxw02183楼
2012-01-31 09:32
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激情无限4楼
2012-01-31 10:42
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qduwlx5楼
2012-01-31 16:20
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qduwlx6楼
2012-01-31 16:21
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2012-01-31 20:01
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莱古拉斯10楼
2012-02-01 00:11
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ziqidonglai11楼
2012-02-01 10:02
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2012-02-01 10:18
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vaughn13楼
2012-02-01 11:34
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yanchengping14楼
2012-02-01 13:23
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