| 查看: 6822 | 回复: 124 | |||||||||
| 【奖励】 本帖被评价108次，作者myIDname增加金币 83.8 个 | |||||||||
[资源]
微纳加工中常见材料的腐蚀/刻蚀速率
|
|||||||||
| 两篇paper讲微纳加工/微纳器件领域（或者说MEMS）中常见材料/工艺的腐蚀速率，包括光刻胶，金属，硅材料等。就当个手册用吧。要是和其他资源重复了，恳请版主删除。 |
回复此楼» 本帖附件资源列表
-
欢迎监督和反馈：小木虫仅提供交流平台，不对该内容负责。
本内容由用户自主发布，如果其内容涉及到知识产权问题，其责任在于用户本人，如对版权有异议，请联系邮箱：xiaomuchong@tal.com - 附件 1 : ETCH RATE 1--JMEMS.pdf
- 附件 2 : ETCH RATE 2--JMEMS.pdf
2012-01-31 01:11:36, 1.71 M
2012-01-31 01:11:47, 1.03 M
» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 英文文献或者教材 | 矿物加工 | Graphene & MTMs & PCs & Plasmonics | 硅片、玻璃片清洗，加工 |
| M-zone | 实验们 |
» 猜你喜欢
求助一篇MEMS散热器件文献
已经有0人回复
-
材化专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有283人回复
-
材料化学专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 高温高压反应釜的材质咨询及不同材料腐蚀速率的数据查询
已经有6人回复
- 全民动员，有奖征集——微纳版“微淘帖”活动
已经有14人回复
- DPN（Dip Pen Nanolithography）浸蘸笔纳米加工刻蚀技术
已经有61人回复
- 高速超精密加工与微纳加工和MEMS是不是近似等同的呀？
已经有10人回复
- 寻找掩膜材料，提高深宽比
已经有8人回复
- 【讨论】大家都是通过什么方法制备微纳结构的？
已经有22人回复
- 【讨论】0.5～2个微米微纳加工，你用什么加工方法？
已经有29人回复
9楼2012-01-31 22:21:01
22楼2012-02-04 10:20:47
32楼2012-02-06 12:53:30
33楼2012-02-07 14:30:29
35楼2012-02-11 13:47:22
43楼2012-02-29 13:45:54
44楼2012-03-03 10:51:53
47楼2012-03-22 17:38:51
50楼2012-04-04 15:39:59
简单回复
gxw02182楼
2012-01-31 09:32
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
gxw02183楼
2012-01-31 09:32
回复
顶一下，感谢分享！
激情无限4楼
2012-01-31 10:42
回复
三星好评 顶一下，感谢分享！
qduwlx5楼
2012-01-31 16:20
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
qduwlx6楼
2012-01-31 16:21
回复
顶一下，感谢分享！
2012-01-31 20:01
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
2012-01-31 20:01
回复
顶一下，感谢分享！
莱古拉斯10楼
2012-02-01 00:11
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
ziqidonglai11楼
2012-02-01 10:02
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
2012-02-01 10:18
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
vaughn13楼
2012-02-01 11:34
回复
三星好评 顶一下，感谢分享！
yanchengping14楼
2012-02-01 13:23
回复
三星好评 顶一下，感谢分享！
wtowangtao15楼
2012-02-01 16:59
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
wtowangtao16楼
2012-02-01 16:59
回复
顶一下，感谢分享！
hb107617楼
2012-02-01 18:29
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
wtiger18楼
2012-02-02 11:30
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
铁磁铁电19楼
2012-02-02 16:55
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
weok774920楼
2012-02-03 14:11
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
guojz21楼
2012-02-04 08:28
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
zhoujun6523楼
2012-02-04 10:25
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
daiwei8924楼
2012-02-04 18:38
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
chonsliu25楼
2012-02-05 09:22
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
berry881226楼
2012-02-05 09:55
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
宇天27楼
2012-02-05 10:02
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
weizhang1228楼
2012-02-05 11:21
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
xuhu_1129楼
2012-02-05 14:45
回复
三星好评 顶一下，感谢分享！
lee819330楼
2012-02-06 09:39
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
liweishihao31楼
2012-02-06 09:42
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
tjxdchen34楼
2012-02-08 11:14
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
antlope36楼
2012-02-12 08:47
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
zhangying92137楼
2012-02-16 20:55
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
liyuyang38楼
2012-02-18 10:04
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
hominidlee39楼
2012-02-21 11:38
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
jww09469840楼
2012-02-21 21:35
回复
三星好评 顶一下，感谢分享！
zcfrostsee41楼
2012-02-22 10:24
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
含树42楼
2012-02-24 09:17
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
zhaoyuan042645楼
2012-03-05 22:55
回复
顶
dingyue040446楼
2012-03-17 20:27
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
苏杭198648楼
2012-04-02 20:21
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
z_wen49楼
2012-04-04 13:57
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
