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木虫 (著名写手)


[资源] 微纳加工中常见材料的腐蚀/刻蚀速率

两篇paper讲微纳加工/微纳器件领域(或者说MEMS)中常见材料/工艺的腐蚀速率,包括光刻胶,金属,硅材料等。就当个手册用吧。要是和其他资源重复了,恳请版主删除。
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huihuijing6303

金虫 (正式写手)


★★★★★ 五星级,优秀推荐

下载看看,,期待有人分享ICP,RIE,IBE刻蚀模拟软件和方法!!!
56楼2012-04-28 18:28:46
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goddog

铁杆木虫 (职业作家)


★★★★★ 五星级,优秀推荐

是啊,很熟悉,当时读书时也看过,比较全面的。

值得推荐
9楼2012-01-31 22:21:01
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gxw02182楼
2012-01-31 09:32   回复  
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gxw02183楼
2012-01-31 09:32   回复  
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qduwlx5楼
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qduwlx6楼
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vaughn13楼
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