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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » XPS 的检测灵敏度或者极限是多少？
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il701

木虫 (著名写手)

[求助] XPS 的检测灵敏度或者极限是多少？

如题，
一是检测深度是多少个nm？
二是能检测到的最低浓度是多少？
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1楼 2012-01-17 11:42:52
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ranon

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

il701(金币+2): ★★★很有帮助 非常感谢，请问EPMA是什么东西？我就知道EDS，新年快乐！！！ 2012-01-24 18:20:37
xps中浓度的计算主要是根据各个元素峰的面积和灵敏度计算出来的。设备本身的误差一般都很小。准不准的话和取面积的方法有很大的关系。xps的长处在于分析元素的价态。如果单纯想知道浓度的话，EPMA,EDS可能要更简单些。
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4楼2012-01-23 21:42:07
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dwysd

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
悠然zx11(金币+2): 多谢参与应助~欢迎常来 2012-01-17 18:18:08
测试深度是表面1-3nm左右。
测试浓度，不好理解。XPS能够得到的是各元素的原子百分比(H元素除外)，不能够得到元素的浓度。
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2楼2012-01-17 18:17:07
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ranon

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
il701(金币+8): ★★★★★最佳答案 谢谢，我以为是十几个纳米呢，一般XPS测量得到的表面原子浓度准不准？ 2012-01-21 18:37:19
测试深度为几个纳米。如果是掺杂的样品，0.1%以上的掺杂浓度可以测量。
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3楼2012-01-21 16:18:16
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ranon

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by ranon at 2012-01-23 21:42:07:
xps中浓度的计算主要是根据各个元素峰的面积和灵敏度计算出来的。设备本身的误差一般都很小。准不准的话和取面积的方法有很大的关系。xps的长处在于分析元素的价态。如果单纯想知道浓度的话，EPMA,EDS可能要更简单 ...

EPMA是英文Electron probe micro-analyzer的首字母缩写，中文译为电子探针显微分析仪，也被简称为电子探针(electron microprobe)或探针(probe)。到网上google一下吧。有很多很详细的说明。
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5楼2012-01-25 21:24:52
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