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文刀玉口

金虫 (正式写手)

[求助] 高温烧结,用什么承烧板最合适?

近阶段在实验中发现,在烧结完成后总是出现碳化硅承烧板四分五裂的情况。我的烧结温度在1500度左右,气氛是氧气。按理说这个条件下碳化硅承烧板应该是没问题,不会出现断裂的情况。诸位童鞋有无遇到过这种情况,是什么原因引起的?或者还有没有更适合我这种条件下的承烧板了,大家帮推荐一下。先谢过大家了!
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poolool

新虫 (初入文坛)


Missile521(金币+1): 鼓励新虫,欢迎交流~ 2012-01-12 16:48:54
SIC板退火了么?烧结之前应该在差不多100度下充分烘干。
15楼2012-01-12 16:27:01
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