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c-v测试曲线求解
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kevin00002
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专业: 半导体电子器件
[
求助
]
c-v测试曲线求解
下面是Al/HfO2/SiO2/Si/Al MOS电容的C-V测试曲线,在500℃退火后,积累区电容急速下降,这个怎么理解?
如果解释合理,奉上20金币!
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2011-12-16 14:15:35
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专业: 半导体晶体与薄膜材料
【答案】应助回帖
请问楼主,你这个C-V曲线是用什么仪器测量的?电极怎样制作的?
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2楼
2012-06-01 10:13:21
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