[交流] 询问大家做lift-off都用什么胶？已有13人参与

6楼: Originally posted by hustjohn at 2011-12-19 17:03:14:
2楼说的对。剥离用负胶比较好。主要跟光刻原理有关。

正胶是曝光部分被显影掉。光刻胶层顶部比底部的曝光量更充足，所以显影后容易形成上面小下面大的“正梯形”截面。这样镀金属后很难剥离掉。负胶则正好相反 ...

楼: Originally posted by damuchongzi at 2011-12-13 13:48:05:
剥离一般是用负胶，主要考虑显影后的形貌。当然一般负胶需要相对应的特定显影液，成本比较高，处理比较复杂。也可以用反转胶如AZ5214或正胶反转工艺（需要特殊的红外烘箱和溶剂）达到剥离所需光刻胶形貌。