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yu16142003

金虫 (小有名气)

[求助] 求助关于抽HF 气体的真空泵选型

我们目前购买了爪式真空泵(极限真空50pa)、双级旋片式真空泵(极限真空0.06pa),目前使用腐蚀都比较严重,真空度下降很快,经常需要维修和换新泵,经咨询国内一些真空泵厂家,比如南光机器、杭州拓达等,都表示很难做用于HF的真空泵,我们以后可能会用到腐蚀性更强的气体,因此特向高手请教如下问题:
1、国内、国外真空泵厂家有没有适合HF用的泵?有的话可以推荐,也可以合作。
2、能否改进进气管道装置,我们在进气口前加了氧化铝等吸附剂,但效果不明显。

非常谢谢!!!
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小木虫就是好
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amazon1001

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

afmin

铁杆木虫 (小有名气)

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