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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 化工设备 » 动设备 » 求助关于抽HF 气体的真空泵选型
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yu16142003

金虫 (小有名气)

[求助] 求助关于抽HF 气体的真空泵选型

我们目前购买了爪式真空泵（极限真空50pa）、双级旋片式真空泵（极限真空0.06pa），目前使用腐蚀都比较严重，真空度下降很快，经常需要维修和换新泵，经咨询国内一些真空泵厂家，比如南光机器、杭州拓达等，都表示很难做用于HF的真空泵，我们以后可能会用到腐蚀性更强的气体，因此特向高手请教如下问题：
1、国内、国外真空泵厂家有没有适合HF用的泵？有的话可以推荐，也可以合作。
2、能否改进进气管道装置，我们在进气口前加了氧化铝等吸附剂，但效果不明显。

非常谢谢！！！
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小木虫就是好
1楼2011-12-07 16:14:40
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amazon1001

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

使用多级真空泵，但前提是1级真空泵为水循环泵，并且循环水的温度要尽可能低，HF可以在一级循环水里被吸收，并且要控制好PH值，2级可以为罗茨泵，3级为扩展泵，这样真空度可以高些，不知道你的真空度要求是多少？一般情况下直接用水循环泵业足够了，毕竟HF是易气化的
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我是一条虫
2楼2011-12-09 10:15:13
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afmin

铁杆木虫 (小有名气)
不知道你的真空度要求是多少，一般真空的话使用PP的水冲泵就能满足你耐腐蚀的要求。
如果要高真空的话就需要选择三级罗茨真空机组了，前级泵可用水冲泵代替
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3楼2011-12-30 15:16:55
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