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yu16142003

金虫 (小有名气)

[求助] 求助关于抽HF 气体的真空泵选型

我们目前购买了爪式真空泵(极限真空50pa)、双级旋片式真空泵(极限真空0.06pa),目前使用腐蚀都比较严重,真空度下降很快,经常需要维修和换新泵,经咨询国内一些真空泵厂家,比如南光机器、杭州拓达等,都表示很难做用于HF的真空泵,我们以后可能会用到腐蚀性更强的气体,因此特向高手请教如下问题:
1、国内、国外真空泵厂家有没有适合HF用的泵?有的话可以推荐,也可以合作。
2、能否改进进气管道装置,我们在进气口前加了氧化铝等吸附剂,但效果不明显。

非常谢谢!!!
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小木虫就是好
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amazon1001

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

使用多级真空泵,但前提是1级真空泵为水循环泵,并且循环水的温度要尽可能低,HF可以在一级循环水里被吸收,并且要控制好PH值,2级可以为罗茨泵,3级为扩展泵,这样真空度可以高些,不知道你的真空度要求是多少?一般情况下直接用水循环泵业足够了,毕竟HF是易气化的
我是一条虫
2楼2011-12-09 10:15:13
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afmin

铁杆木虫 (小有名气)

不知道你的真空度要求是多少,一般真空的话使用PP的水冲泵就能满足你耐腐蚀的要求。
如果要高真空的话就需要选择三级罗茨真空机组了,前级泵可用水冲泵代替
3楼2011-12-30 15:16:55
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