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如何观察石英基底的样品的断面
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专业: 半导体晶体与薄膜材料
[交流]
如何观察石英基底的样品的断面
已有1人参与
各位虫子们,本人在石英基底上镀膜,现在准备分析下断面形貌,不知道怎么弄断样品,之前的断面由于在切割样品时弄的很糟糕,不知道大家有什么好方法没!
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2011-12-04 23:25:14
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):给个红包,谢谢回帖
Missile521(金币+1): 鼓励回帖交流~ 2011-12-05 13:44:56
用玻璃刀或者硅碳棒尖锐的边缘在样品表面划下,然后掰断,如果膜层也均匀断裂,就可以去SEM了。
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知足常乐,奋斗不息。
2楼
2011-12-05 11:01:44
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上次就是这样做的,,但是可能石英片比较厚,断面测试不是很理想。。
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2011-12-05 20:08:50
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