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hukun34262

金虫 (小有名气)

[求助] 退火有没有可能使残余应力提高

我用磁控溅射制了4组厚度约为50 nm的Cu膜样品(衬底是硅片),在100 200 300摄氏度下分别退火半个小时,之后用XRD算了下残余应力,发现300摄氏度的残余应力是最高的,有没有人遇到过这种现象,是不是实验有问题?
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lijunjie84

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【答案】应助回帖


lichun1210(金币+1): 感谢交流~ 2011-12-02 07:42:48
楼主能否说下用XRD如何计算残余应力?
2楼2011-12-01 23:58:03
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hukun34262

金虫 (小有名气)

计算出衍射峰角度和标准晶体的衍射峰角度差值,然后根据公式来得出的。以前也算过,结果还可以,这次的结果却是随着退火温度的提高,残余拉应力越大。
3楼2011-12-05 14:28:30
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