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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 测试表征 » 退火有没有可能使残余应力提高
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hukun34262

木虫 (小有名气)

[求助] 退火有没有可能使残余应力提高

我用磁控溅射制了4组厚度约为50 nm的Cu膜样品（衬底是硅片），在100 200 300摄氏度下分别退火半个小时，之后用XRD算了下残余应力，发现300摄氏度的残余应力是最高的，有没有人遇到过这种现象，是不是实验有问题？
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1楼 2011-12-01 15:46:22
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lijunjie84

版主 (职业作家)

隐者

优秀版主

【答案】应助回帖

★
lichun1210(金币+1): 感谢交流~ 2011-12-02 07:42:48
楼主能否说下用XRD如何计算残余应力？
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2楼2011-12-01 23:58:03
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hukun34262

木虫 (小有名气)
计算出衍射峰角度和标准晶体的衍射峰角度差值，然后根据公式来得出的。以前也算过，结果还可以，这次的结果却是随着退火温度的提高，残余拉应力越大。
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3楼2011-12-05 14:28:30
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