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hukun34262金虫 (小有名气)
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退火有没有可能使残余应力提高
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| 我用磁控溅射制了4组厚度约为50 nm的Cu膜样品（衬底是硅片），在100 200 300摄氏度下分别退火半个小时，之后用XRD算了下残余应力，发现300摄氏度的残余应力是最高的，有没有人遇到过这种现象，是不是实验有问题？ |
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lijunjie84
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2楼2011-12-01 23:58:03
hukun34262
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3楼2011-12-05 14:28:30