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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 测试表征 » X射线应力测力仪能测薄膜涂层等得应力么
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葵花点穴手h

银虫 (小有名气)

[求助] X射线应力测力仪能测薄膜涂层等得应力么

如题，涂层的应力一般2-3um，基体是硬质合金或硅片，请问能不能测出涂层后的残余应力呢
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表征与测试分析 硬质合金涂层

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做学术是一件严谨的事
1楼 2011-11-25 20:58:58
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葵花点穴手h

银虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by monkeydkkk at 2011-12-01 09:18:41:
我也是要研究这个薄膜应力，而且我的薄膜不到1um，常规的方法都不好用，头疼呀。。。

这个XRD好用么，貌似1um基体凸起有可能会露出来，弯曲法估计更不行了
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做学术是一件严谨的事
7楼2011-12-01 10:02:54
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monkeydkkk

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
zhyq8767(金币+1): 感谢交流！ 2011-11-26 13:30:23
葵花点穴手h(金币+2): 2011-11-28 16:14:42
引用回帖:
1楼: Originally posted by 葵花点穴手h at 2011-11-25 20:58:58:
如题，涂层的应力一般2-3um，基体是硬质合金或硅片，请问能不能测出涂层后的残余应力呢

2-3um的话应该可以测，只要你在普通的sin（fai）平方法下情况下能出薄膜的峰就行，如果薄膜太薄的话就很难出现薄膜的峰了。最好选择高角度的峰，高角度峰不强的话，低角度的也行，薄膜一般线性会比较好！！
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像luffer一样战斗！！
2楼2011-11-25 23:13:43
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葵花点穴手h

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by monkeydkkk at 2011-11-25 23:13:43:
2-3um的话应该可以测，只要你在普通的sin（fai）平方法下情况下能出薄膜的峰就行，如果薄膜太薄的话就很难出现薄膜的峰了。最好选择高角度的峰，高角度峰不强的话，低角度的也行，薄膜一般线性会比较好！！

好像这个是要测出来后跟另一个峰图比较，看偏移量是多少，然后在计算出应力，但那个比较的图怎么来的呢？是需要找一个无应力薄膜测啊还是有标准，对这个设备不是很了解，请教啦
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做学术是一件严谨的事
3楼2011-11-28 16:17:11
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monkeydkkk

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 葵花点穴手h at 2011-11-28 16:17:11:
好像这个是要测出来后跟另一个峰图比较，看偏移量是多少，然后在计算出应力，但那个比较的图怎么来的呢？是需要找一个无应力薄膜测啊还是有标准，对这个设备不是很了解，请教啦

不用测无应力薄膜，你需要偏转多个角度，然后按公式线性拟合，建议你看一看XRD测应力方面的书，推荐西交大出版的《材料中残余应力的X射线衍射分析和作用》张定铨，何家文著，或者找一些相关文献看看。
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葵花点穴手h
像luffer一样战斗！！
4楼2011-11-30 09:03:00
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