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葵花点穴手h

银虫 (小有名气)

[求助] X射线应力测力仪能测薄膜涂层等得应力么

如题,涂层的应力一般2-3um,基体是硬质合金或硅片,请问能不能测出涂层后的残余应力呢
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表征与测试分析 硬质合金涂层

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做学术是一件严谨的事
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monkeydkkk

木虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 葵花点穴手h at 2011-11-30 09:19:38:
谢谢啊,这个之前确实不懂,嘿嘿

我也是要研究这个薄膜应力,而且我的薄膜不到1um,常规的方法都不好用,头疼呀。。。
像luffer一样战斗!!
6楼2011-12-01 09:18:41
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monkeydkkk

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


zhyq8767(金币+1): 感谢交流! 2011-11-26 13:30:23
葵花点穴手h(金币+2): 2011-11-28 16:14:42
引用回帖:
1楼: Originally posted by 葵花点穴手h at 2011-11-25 20:58:58:
如题,涂层的应力一般2-3um,基体是硬质合金或硅片,请问能不能测出涂层后的残余应力呢

2-3um的话应该可以测,只要你在普通的sin(fai)平方法下情况下能出薄膜的峰就行,如果薄膜太薄的话就很难出现薄膜的峰了。最好选择高角度的峰,高角度峰不强的话,低角度的也行,薄膜一般线性会比较好!!
像luffer一样战斗!!
2楼2011-11-25 23:13:43
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葵花点穴手h

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by monkeydkkk at 2011-11-25 23:13:43:
2-3um的话应该可以测,只要你在普通的sin(fai)平方法下情况下能出薄膜的峰就行,如果薄膜太薄的话就很难出现薄膜的峰了。最好选择高角度的峰,高角度峰不强的话,低角度的也行,薄膜一般线性会比较好!!

好像这个是要测出来后跟另一个峰图比较,看偏移量是多少,然后在计算出应力,但那个比较的图怎么来的呢?是需要找一个无应力薄膜测啊还是有标准,对这个设备不是很了解,请教啦
做学术是一件严谨的事
3楼2011-11-28 16:17:11
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monkeydkkk

木虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 葵花点穴手h at 2011-11-28 16:17:11:
好像这个是要测出来后跟另一个峰图比较,看偏移量是多少,然后在计算出应力,但那个比较的图怎么来的呢?是需要找一个无应力薄膜测啊还是有标准,对这个设备不是很了解,请教啦

不用测无应力薄膜,你需要偏转多个角度,然后按公式线性拟合,建议你看一看XRD测应力方面的书,推荐西交大出版的《材料中残余应力的X射线衍射分析和作用》张定铨,何家文著,或者找一些相关文献看看。

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像luffer一样战斗!!
4楼2011-11-30 09:03:00
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