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liuxiaoyucrd

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[求助] CVD里有烧红的电阻丝通入氢气会爆炸吗

我们自己做了一个加热盘，放在CVD反应腔内供加热用。给电阻丝通电后，电阻丝是烧红的，表面温度可达700-900度。电阻丝有一部分是裸露的，可与腔内气体接触。我们需要通入氢气做实验，腔内是抽到1Pa左右后开始通入氢气，通入氢气后压强可达50Pa左右。请问一下，在这种气体条件下，氢气碰到烧红的电阻丝会发生爆炸吗？
电阻丝外面用石英管套着，没有办法包严实，怎么都能与腔内气体接触。
自己觉着腔内压强很小，氧气应该没有多少了，也许不太可能爆炸。但还是很担心，老师又催着做，请各位给点宝贵意见

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1楼2011-11-21 21:53:33

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chaijudi

至尊木虫 (著名写手)

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【答案】应助回帖

★ ★ ★
zhonggao18(金币+3): 感谢回帖 2011-11-22 10:08:50
liuxiaoyucrd(金币+10): 那试试吧 2011-11-22 11:37:18

引用回帖:

1楼: Originally posted by liuxiaoyucrd at 2011-11-21 21:53:33:
我们自己做了一个加热盘，放在CVD反应腔内供加热用。给电阻丝通电后，电阻丝是烧红的，表面温度可达700-900度。电阻丝有一部分是裸露的，可与腔内气体接触。我们需要通入氢气做实验，腔内是抽到1Pa左右后开始通入 ...

每种可燃气体与氧气混合发生爆炸都有爆炸极限限制
好像氢气与空气混合气爆炸极限在4~75%（V/V）
你的试验中远超过这个范围
应该是安全的！
不放心的话可以在腔内通入氢气后在抽真空，然后在充氢气，然后在抽真空，循环三次以上就放心了！