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CVD里有烧红的电阻丝 通入氢气会爆炸吗
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我们自己做了一个加热盘,放在CVD反应腔内供加热用。给电阻丝通电后,电阻丝是烧红的,表面温度可达700-900度。电阻丝有一部分是裸露的,可与腔内气体接触。我们需要通入氢气做实验,腔内是抽到1Pa左右后开始通入氢气,通入氢气后压强可达50Pa左右。请问一下,在这种气体条件下,氢气碰到烧红的电阻丝会发生爆炸吗? 电阻丝外面用石英管套着,没有办法包严实,怎么都能与腔内气体接触。 自己觉着腔内压强很小,氧气应该没有多少了,也许不太可能爆炸。但还是很担心,老师又催着做,请各位给点宝贵意见 |
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