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wangganglzu

至尊木虫 (职业作家)

应助: 8 (幼儿园)
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散金: 821
红花: 8
帖子: 4530
在线: 553.3小时
虫号: 1418588
注册: 2011-09-26
性别: GG
专业: 半导体光电子器件

[求助] CVD法制备Graphene中，有关淀积催化金属Cu 的疑问

想问问，在CVD制备Graphene之前，要在SiO2/Si上淀积一层Cu，我想用电子束蒸镀的方法淀积一层铜，就是不太清楚淀积Cu的具体工艺，比如真空度、温度等等……希望做相关实验的虫友能够解答一下

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天道酬勤

1楼 2011-11-14 15:00:06

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guojun1029

银虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
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专业: 碳素材料与超硬材料

我们是PVD 镀过Cu 我用的DC 50w 15.22 nm/min

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wangganglzu

10楼2012-03-10 21:05:30

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