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wangganglzu

至尊木虫 (职业作家)

[求助] CVD法制备Graphene中,有关淀积催化金属Cu 的疑问

想问问,在CVD制备Graphene之前,要在SiO2/Si上淀积一层Cu,我想用电子束蒸镀的方法淀积一层铜,就是不太清楚淀积Cu的具体工艺,比如真空度、温度等等……希望做相关实验的虫友能够解答一下
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天道酬勤
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guojun1029

银虫 (小有名气)

我们是PVD 镀过Cu 我用的DC 50w 15.22 nm/min

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10楼2012-03-10 21:05:30
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