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ACCVD法制备碳管,如何在低真空状态下,将样片导入反应室?
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alexanderp
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专业: 其他无机非金属材料
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求助
]
ACCVD法制备碳管,如何在低真空状态下,将样片导入反应室?
小弟 在做ACCVD法制备 碳管, 主要看日本Maruyama的文献,想请问有人研究 样片准备室和反应室分开的吗?或相应文献
目前状态,是将反应室打开,直接导入样片舟。
参见Maruyama组的视频,
http://reizei.t.u-tokyo.ac.jp/~m ... 6/CVD_procedure.wmv
想实现的是,加入一个准备室,然后,用磁控棒,来实现样片的推进。
求助相关文献,比如装备设计或者发表的内容。
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2011-11-09 19:21:45
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