| 查看: 732 | 回复: 1 | ||
| 本帖产生 1 个 翻译EPI ，点击这里进行查看 | ||
295435736金虫 (小有名气)
|
[求助]
翻译一句话，中翻英
|
|
| 有文献指出PECVD沉积薄膜的均匀性与反应气体分配进入反应室有关系，故下极板采用“喷淋式”平板电极，功率馈入采用“喷淋式”电极背面中心点馈入方式，下极板距真空腔室底面为110 mm，上极板上表面接地，下表面放置基片，两极板间距离在一定范围内可调。 |
回复此楼» 猜你喜欢
售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急
已经有3人回复
-
售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有3人回复
-
基金中了
已经有14人回复
-
关于filecode
已经有7人回复
-
娱乐
已经有6人回复
-
化学口download_prp&fileCode的固定段好像这几天一直没变，有变的大神么？
已经有4人回复
-
关于代码变化问题，想知道的进来
已经有12人回复
-
固定端突然变了，今天
已经有10人回复
-
听说今天filecode变了
已经有47人回复
-
filecode与中标关系的预测
已经有3人回复
fjtony163
版主 (文坛精英)
米米
- 翻译EPI: 386
- 应助: 361 (硕士)
- 贵宾: 6.876
- 金币: 70612.6
- 散金: 36050
- 红花: 222
- 沙发: 616
- 帖子: 21912
- 在线: 3793.8小时
- 虫号: 1397876
- 注册: 2011-09-11
- 专业: 遗传学研究新技术与方法
- 管辖: 论文翻译
【答案】应助回帖
★
爱与雨下(金币+1): 2011-10-28 19:36:48
295435736(金币+40, 翻译EPI+1): 还行，谢谢了 2011-10-28 21:16:20
爱与雨下(金币+1): 2011-10-28 19:36:48
295435736(金币+40, 翻译EPI+1): 还行，谢谢了 2011-10-28 21:16:20
| Some literature points out that the distribution of PECVD deposition membrane has relationship with reacted gas distribution entering reaction room. So the lower plate adopted showerhead plate electrode and power feed used back center point feed on showerhead electrode. Lower plate is 110mm from vacuum chamber bottom and upper surface of upper plate is attached to ground when chip is put on lower surface. The distance between two plates could be adjustable in certain range. |
2楼2011-10-28 14:00:56
100