| 查看: 610 | 回复: 1 | ||
| 本帖产生 1 个 翻译EPI ，点击这里进行查看 | ||
295435736金虫 (小有名气)
|
[求助]
翻译一句话，中翻英
|
|
| 有文献指出PECVD沉积薄膜的均匀性与反应气体分配进入反应室有关系，故下极板采用“喷淋式”平板电极，功率馈入采用“喷淋式”电极背面中心点馈入方式，下极板距真空腔室底面为110 mm，上极板上表面接地，下表面放置基片，两极板间距离在一定范围内可调。 |
回复此楼» 猜你喜欢
308求调剂
已经有3人回复
-
321求调剂
已经有11人回复
-
一志愿中海洋材料工程专硕330分求调剂
已经有8人回复
-
330求调剂
已经有4人回复
-
304求调剂
已经有7人回复
-
一志愿南京理工大学085701资源与环境302分求调剂
已经有6人回复
-
南京大学化学376求调剂
已经有3人回复
-
考研调剂求学校推荐
已经有5人回复
-
323求调剂
已经有3人回复
-
317求调剂
已经有12人回复
fjtony163
版主 (文坛精英)
米米
- 翻译EPI: 386
- 应助: 361 (硕士)
- 贵宾: 6.876
- 金币: 70610.6
- 散金: 36050
- 红花: 222
- 沙发: 616
- 帖子: 21912
- 在线: 3793.7小时
- 虫号: 1397876
- 注册: 2011-09-11
- 专业: 遗传学研究新技术与方法
- 管辖: 论文翻译
【答案】应助回帖
★
爱与雨下(金币+1): 2011-10-28 19:36:48
295435736(金币+40, 翻译EPI+1): 还行，谢谢了 2011-10-28 21:16:20
爱与雨下(金币+1): 2011-10-28 19:36:48
295435736(金币+40, 翻译EPI+1): 还行，谢谢了 2011-10-28 21:16:20
| Some literature points out that the distribution of PECVD deposition membrane has relationship with reacted gas distribution entering reaction room. So the lower plate adopted showerhead plate electrode and power feed used back center point feed on showerhead electrode. Lower plate is 110mm from vacuum chamber bottom and upper surface of upper plate is attached to ground when chip is put on lower surface. The distance between two plates could be adjustable in certain range. |
2楼2011-10-28 14:00:56
50