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jojolyl

新虫 (初入文坛)

[交流] 制备bst薄膜的Si基底 已有5人参与

请问制备bst薄膜的Si基底有什么参数要求吗?例如:厚度要求,P型还是N型,趋向<100>,<111>等……急求……
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hlwang10s

金虫 (小有名气)

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zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-10-27 21:03:22
Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)
上善若水,厚德载物
2楼2011-10-27 18:25:55
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guody

铁杆木虫 (正式写手)

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zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-10-27 21:03:37
主要看你自己实验要求了,
p型和n型主要是对测试电学性能有影响,但如果是楼上所说的这种衬底,就无所谓p型还是n型了;如果是直接将膜沉积在Si衬底上,比如做成FET,然后测试性能,就必须选择好p型或者n型了。
至于取向,都可以使用,取决于你自己的选择,取向不同应该对膜的取向有一定影响,你可以研究一下,呵呵。
求木之长者,必固其根本;欲流之远者,必浚其泉源;思国之安者,必积其德义。
3楼2011-10-27 20:32:13
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竹林风bamboo

新虫 (小有名气)

★ ★
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nofrunolif(金币+1): 鼓励交流 2011-12-18 17:23:29
Si衬底的取向会在一定程度上影响薄膜的取向,而且LNO/Si 这样的衬底不错,可以解决电极问题,LNO还可能诱导织构
天道酬勤
4楼2011-12-17 22:02:20
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wxjabc

金虫 (小有名气)



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我买的是P型的,pt200nm/Ti50nm/SiO2200nm/Si(P)
5楼2011-12-18 09:30:54
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Tommy8726

银虫 (小有名气)


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p型硅-sio2-tio2-pt
6楼2012-02-17 20:42:15
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