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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 求助碳化硅掺杂
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hzq531525495

新虫 (小有名气)

[求助] 求助碳化硅掺杂

碳化硅纳米材料怎么进行磷掺杂？磷的含量应到多少才算掺杂成功？
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1楼 2011-10-25 16:21:57
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小新8158

木虫 (著名写手)

铁杆木虫

【答案】应助回帖

可以在材料生长过程中掺杂，也可以生长后进行离子注入掺杂，至于多少量算成功应该没有标准吧，看你掺杂后的效果了。
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嘿嘿-木虫啦-BB已经是浮云了O(∩_∩)O
2楼2011-10-25 17:18:35
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hzq531525495

新虫 (小有名气)
谢谢啦
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3楼2011-10-26 21:11:36
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zhangjwxjtu

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

hzq531525495(金币+1): 2011-11-22 12:34:05
引用回帖:
1楼: Originally posted by hzq531525495 at 2011-10-25 16:21:57:
碳化硅纳米材料怎么进行磷掺杂？磷的含量应到多少才算掺杂成功？

主要看你做什么器件、SiC如何生长的。一般可以采用与Si一样的扩散技术，也可以在CVD生长中直接加入掺杂剂。不是磷的含量到多少才合适，而是根据不同的器件要求，掺入合适的掺杂剂，得到的载流子浓度应是掺杂剂中被电离的那部分掺杂剂才起作用。
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4楼2011-11-19 08:57:34
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