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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 四川南光真空科技有限公司的光刻机怎么样？
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tweezers

禁虫 (初入文坛)
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1楼 2011-10-18 08:42:06
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didu

木虫 (小有名气)
★
nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2011-10-18 18:28:48
有一台他们公司的类似型号，能刻到2 um，便宜是关键。
用了近两年了没什么大问题。操作还是挺简便，维护就是给他们打电话，要是正好在附近城市就会很快过来。
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2楼2011-10-18 11:25:53
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tweezers

禁虫 (初入文坛)
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3楼2011-10-18 12:47:17
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didu

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by tweezers at 2011-10-18 12:47:17:
请问您那是什么型号的？好像他们很多就是区别在曝光光源上。

H94-17G型4″单面 光刻机
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4楼2011-10-19 09:14:26
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tweezers

禁虫 (初入文坛)
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5楼2011-10-20 11:12:35
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didu

木虫 (小有名气)
★
nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2011-12-20 10:15:14
我们也用这台光刻机做FET的。
理论上最小沟道能到2um。
我不知道你要做的纳米线的长度，要是普遍能有4-5um的话就没有问题。
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6楼2011-10-20 16:23:57
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