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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 在金属基体上做微加工
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courage

木虫 (正式写手)

[交流] 在金属基体上做微加工 已有18人参与

我们想在金属基体上做出微米级的块状凸起结构，不知哪些设备可以做？
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1楼 2011-10-02 12:07:15
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匿名

用户注销 (著名写手)
★ ★
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yingli09(金币+1): 2011-10-13 11:37:34
本帖仅楼主可见
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2楼2011-10-02 22:33:49
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sally208

专家顾问 (著名写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
yingli09(金币+1): 2011-10-13 11:37:38
用些化学刻蚀剂试试看
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3楼2011-10-02 23:26:57
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主宰撒哈拉

木虫 (小有名气)
★ ★
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lchpy(金币+1): thanks 2011-10-03 18:32:21
电镀，沉积，溅射，化学腐蚀，或者压印。都可以做。具体方法看你的结构形状和特征尺寸。
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4楼2011-10-03 17:34:50
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四有新人

铜虫 (正式写手)
★ ★
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yingli09(金币+1): 2011-10-13 13:59:41
引用回帖:
1楼: Originally posted by courage at 2011-10-02 12:07:15:
我们想在金属基体上做出微米级的块状凸起结构，不知哪些设备可以做？

化学刻蚀等方法应该可以。
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上善若水，厚德载物
5楼2011-10-03 19:24:34
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helongyu

金虫 (正式写手)
★ ★
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yingli09(金币+1): 2011-10-13 13:59:44
应该是先用光刻制备所需图案，再用沉积，刻蚀等加工。
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踏实、朴实、求实
6楼2011-10-03 21:35:32
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honghuzlj

木虫 (著名写手)
飞秒微加工
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7楼2011-10-04 00:10:30
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rooinlee

木虫 (正式写手)

天一阁主
★ ★
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lchpy(金币+1): thanks 2011-10-04 20:36:26
微米级的很容易的，用光刻就行。
我们学校的微加工所很多年以前就能在金属上面刻很小的图案了~
哈工大，你可以试试
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8楼2011-10-04 04:41:35
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xjhit

金虫 (小有名气)

博士 ··
★
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引用回帖:
8楼: Originally posted by rooinlee at 2011-10-04 04:41:35:
微米级的很容易的，用光刻就行。
我们学校的微加工所很多年以前就能在金属上面刻很小的图案了~
哈工大，你可以试试

那个所能做啊？刻蚀方法还是超精密机械加工？
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9楼2011-10-04 07:27:05
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courage

木虫 (正式写手)
有没有机械法加工的。我们用沉积法做过，但效果不好
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10楼2011-10-04 20:06:11
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