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desperadp

至尊木虫 (著名写手)

[求助] 5nm左右film的XRD测试

想测试很薄的薄膜的XRD,用一般的XRD测试,由于薄膜太薄,信号太弱,只有衬底的信号,想问对于测试5nm左右的薄膜的结构应该用什么样的XRD仪器测试,谢谢
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xhtangxh

木虫 (著名写手)

有木有虫

【答案】应助回帖

desperadp(金币+5): 谢谢 2011-09-22 09:18:16
是想测试单薄膜的物相、晶粒大小、薄膜次序、择优取向,还是想测试多层膜的厚度、膜及衬底的密度、表面及界面粗糙度、膜的次序?根据测试目的,可以采用小角X射线散射(SAXS)方法,也可以采用薄膜掠射衍射(GID)方法。
测试薄膜材料一般最好用薄膜衍射仪,配Göbel 镜以提高强度,如果再配阵列探测器则可以提高信号检测灵敏度。
2楼2011-09-22 08:48:02
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