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desperadp

至尊木虫 (著名写手)

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[求助] 5nm左右film的XRD测试

想测试很薄的薄膜的XRD，用一般的XRD测试，由于薄膜太薄，信号太弱，只有衬底的信号，想问对于测试5nm左右的薄膜的结构应该用什么样的XRD仪器测试，谢谢

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1楼 2011-09-21 19:20:04

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xhtangxh

木虫 (著名写手)

有木有虫

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【答案】应助回帖

desperadp(金币+5): 谢谢 2011-09-22 09:18:16

是想测试单薄膜的物相、晶粒大小、薄膜次序、择优取向，还是想测试多层膜的厚度、膜及衬底的密度、表面及界面粗糙度、膜的次序？根据测试目的，可以采用小角X射线散射(SAXS)方法，也可以采用薄膜掠射衍射(GID)方法。
测试薄膜材料一般最好用薄膜衍射仪，配Göbel 镜以提高强度，如果再配阵列探测器则可以提高信号检测灵敏度。

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2楼2011-09-22 08:48:02

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