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fpei_csu

银虫 (小有名气)

[求助] xps测量氧的问题

xps可以测量出样品表面含有的氧到底是化合氧还是吸附氧吗?如何区分呢
因为xps刻蚀的时候也是会把化合氧刻蚀掉的啊
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迈步从头越

木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by magrog at 2011-09-22 16:01:23:
上海哪里可以测xps,上海计量测试技术研究院要价太高了。有大虫知道其他地方的吗?

中科院成都分院分析测试中心可以测,每个样100块钱
4楼2011-09-22 17:23:52
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迈步从头越

木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

表面测得的氧物种应该包含吸附氧和晶格氧两种,清华大学徐伯庆老师的学生叶青的几篇文章中有过相关报道,关于刻蚀的XPS测量氧物种的
2楼2011-09-21 18:28:48
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magrog

木虫 (小有名气)

上海哪里可以测xps,上海计量测试技术研究院要价太高了。有大虫知道其他地方的吗?
3楼2011-09-22 16:01:23
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eidolonsea

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

可能复旦和宝钢有这台仪器。但是个人觉得国内还是清华做得最好。
5楼2011-09-22 23:11:25
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