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xps测量氧的问题
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fpei_csu
银虫
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]
xps测量氧的问题
xps可以测量出样品表面含有的氧到底是化合氧还是吸附氧吗?如何区分呢
因为xps刻蚀的时候也是会把化合氧刻蚀掉的啊
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1楼
2011-09-21 15:15:51
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magrog
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上海哪里可以测xps,上海计量测试技术研究院要价太高了。有大虫知道其他地方的吗?
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3楼
2011-09-22 16:01:23
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迈步从头越
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【答案】应助回帖
表面测得的氧物种应该包含吸附氧和晶格氧两种,清华大学徐伯庆老师的学生叶青的几篇文章中有过相关报道,关于刻蚀的XPS测量氧物种的
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2楼
2011-09-21 18:28:48
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【答案】应助回帖
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3楼
:
Originally posted by
magrog
at 2011-09-22 16:01:23:
上海哪里可以测xps,上海计量测试技术研究院要价太高了。有大虫知道其他地方的吗?
中科院成都分院分析测试中心可以测,每个样100块钱
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4楼
2011-09-22 17:23:52
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eidolonsea
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专业: 金属材料表面科学与工程
【答案】应助回帖
可能复旦和宝钢有这台仪器。但是个人觉得国内还是清华做得最好。
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5楼
2011-09-22 23:11:25
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