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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 复合材料 » 前沿热点 » 扫描电镜 分子泵与扩散泵的性能该做如何比较？
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laoyisng1122

铁虫 (正式写手)

[求助] 扫描电镜 分子泵与扩散泵的性能该做如何比较？

扫描电镜 求达到相同真空度的分子泵与扩散泵的性能比较
看了论坛中几个帖子所说，分子泵与扩散泵的优缺点比较，学习了不少。不过又有问题挥之不去，比如：在同样达到5*10-6真空度的情况下，分子泵与扩散泵的性能该做如何比较？分子泵的抽速能赶上扩散泵的吗？功耗应该也是分子泵小吧，那么用电量如何呢？
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1楼 2011-09-20 16:01:04
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COXEM

捐助贵宾 (正式写手)

北京驰奔仪器有限公司- G.M &


【答案】应助回帖

种 类                                          油扩散泵                                           涡轮分子泵系统   
可获得最高真空度                     10-3～10-4Pa                                     优于10-4Pa   
形成污染层速率                        30nm/min(10-3Pa)                            0.036～0.09nm/min(2×10-4Pa)
开机预热时间                             30min                                                    无需预热
关机冷却时间                              30min                                                   无需
冷却方式                                   水冷                        风冷
能耗                                           加上冷水机，高的多                            估计相当于30%
真空油污染                                 高                                                          无
真空管路                                    复杂                                                       简单
噪音                                           大(需要隔离机械泵急冷水机)                 小 (无需隔离)
单机价格                                       便宜                                    贵5倍以上
抽速 （都有指标）                     和设计有关
维护                                        更换扩散泵油                              需要更换润滑油
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2楼2011-09-21 18:18:42
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