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laoyisng1122

铁虫 (正式写手)

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[求助] 扫描电镜分子泵与扩散泵的性能该做如何比较？

扫描电镜求达到相同真空度的分子泵与扩散泵的性能比较
看了论坛中几个帖子所说，分子泵与扩散泵的优缺点比较，学习了不少。不过又有问题挥之不去，比如：在同样达到5*10-6真空度的情况下，分子泵与扩散泵的性能该做如何比较？分子泵的抽速能赶上扩散泵的吗？功耗应该也是分子泵小吧，那么用电量如何呢？

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1楼 2011-09-20 16:01:04

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COXEM

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北京驰奔仪器有限公司- G.M &

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【答案】应助回帖

种类                                        油扩散泵                                        涡轮分子泵系统
可获得最高真空度                   10-3～10-4Pa                                  优于10-4Pa
形成污染层速率                      30nm/min(10-3Pa)                         0.036～0.09nm/min(2×10-4Pa)
开机预热时间                            30min                                                 无需预热
关机冷却时间                            30min                                                 无需
冷却方式                                  水冷                      风冷
能耗                                        加上冷水机，高的多                         估计相当于30%
真空油污染                               高                                                       无
真空管路                                  复杂                                                    简单
噪音                                        大(需要隔离机械泵急冷水机)                小 (无需隔离)
单机价格                                     便宜                                  贵5倍以上
抽速（都有指标）                   和设计有关
维护                                     更换扩散泵油                            需要更换润滑油

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