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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » CVD温度的问题
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liuxiaoyucrd

金虫 (小有名气)

[求助] CVD温度的问题 已有1人参与

请问一下用过CVD的同学：
    一般文献中提到的CVD沉积薄膜的温度是指基片台的温度吗？还是氛围温度？
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1楼 2011-09-19 16:22:37
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唐文732

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

基片台的温度，就是加热基片时我们设定的热电偶的温度
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2楼2015-07-11 18:37:40
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