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wangyinquan

铁虫 (小有名气)

[交流] 溅射速率 已有4人参与

有谁知道钛和金的溅射速率是多少?
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天马行空123

木虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
1楼: Originally posted by wangyinquan at 2011-09-05 11:57:44:
有谁知道钛和金的溅射速率是多少?

这个自己控制条件试一下不就知道了
东临碣石以观沧海
4楼2011-09-08 00:47:20
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faintchang

金虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
影响溅射速率的因素有很多,比如溅射功率,气压,衬底温度等等,金属的溅射速率普遍较高,我们在80W,0.5Pa,通入Ar6sccm时室温沉积Pt的溅射速率为20nm/min。
2楼2011-09-05 17:51:42
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codesertea

金虫 (小有名气)

ls回答的很好了,没啥补充的了……
3楼2011-09-07 22:52:58
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piqihenhaode

金虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
这个得看具体的设备吧,靶间距啊,气压,功率,因素很多,我们用的功率是Ar20SCCM,1Pa,60W,5Min,100nm。钛相对来说比较难溅射,溅射速度要慢一些。
千篇一律
5楼2011-09-08 01:21:08
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