应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 溅射速率
61/1返回列表
查看: 1598  |  回复: 5
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

wangyinquan

铁虫 (小有名气)

[交流] 溅射速率 已有4人参与

有谁知道钛和金的溅射速率是多少？
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2011-09-05 11:57:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

faintchang

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
影响溅射速率的因素有很多，比如溅射功率，气压，衬底温度等等，金属的溅射速率普遍较高，我们在80W，0.5Pa，通入Ar6sccm时室温沉积Pt的溅射速率为20nm/min。
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2011-09-05 17:51:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

codesertea

金虫 (小有名气)
ls回答的很好了，没啥补充的了……
赞一下 回复此楼
3楼2011-09-07 22:52:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

天马行空123

木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
1楼: Originally posted by wangyinquan at 2011-09-05 11:57:44:
有谁知道钛和金的溅射速率是多少？

这个自己控制条件试一下不就知道了
赞一下(1人) 回复此楼
东临碣石以观沧海
4楼2011-09-08 00:47:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

piqihenhaode

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
这个得看具体的设备吧，靶间距啊，气压，功率，因素很多，我们用的功率是Ar20SCCM,1Pa,60W,5Min，100nm。钛相对来说比较难溅射，溅射速度要慢一些。
赞一下(2人) 回复此楼
千篇一律
5楼2011-09-08 01:21:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangyinquan

铁虫 (小有名气)
лл
回复此楼
6楼2012-03-24 17:43:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 wangyinquan 的主题更新
61/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭